硅片的等級標準
硅片的等級標準
硅片的檢測版本1 彎曲是指有效面積內有規律的發生形變，翹曲是指有效面積內局部發生形變。
| A級 | B級 | C級 | D級 | E級 | |
| 線痕： TV： TTV： 孿晶： 多晶： 裂紋、裂痕： 應力： 空洞： 缺角： V型缺口： 彎曲度翹曲度： 硅多晶線性尺寸長度： | 無或輕線 無 無 無 不存在多晶 無 無 無 無 無 無 6≦L≦100mm | ≦10μm,≦5條 ≦20μm ≦15 無 不存在多晶 無 無 無 無 無 ≦,50μm 6≦L≦100mm | ≦20μm,≦10條 ≦20μm ≦30 無 不存在多晶 無 無 無 無 無 ≦75μm 6≦L≦100mm | ≦30μm,≦15條 ≦20μm ≦50 無 不存在多晶 無 有 無 無 無 ≦100μm 6≦L≦100mm | ≦50μm ＞20μm ＞50 有 存在多晶 有 嚴重(可能碎裂) 有 有 有 ＞100μm L＜6或L＞100mm |
1：硅片表面光滑潔凈
2：TV：220±20um 。
3：幾何尺寸：
邊長：125±0.5mm；對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm；
邊長：103±0.5mm、對角：135±0.5mm；
邊長：150±0.5mm、156±0.5mm、對角：203±0.5mm、200±0.5mm、。
同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1mm
垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.3
二、合格品
一級品：垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.5
二級品：1：表面有少許污漬、線痕。凹痕、輕微崩邊。
2：220±30um ≤TV≤220±40um。
3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30um
4：崩邊范圍：崩邊口不是三角形， 崩邊口長度≤1mm ，深度≤0.5mm
5：幾何尺寸：
邊長：125±0.52mm；對角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm；
邊長：103±0.52mm、對角：135±0.52mm；
邊長：150±0.52mm、156±0.52mm、對角：203±0.52mm、200±0.52mm、。
同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1.5mm
垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.8
三級品：
1：表面有油污但硅片顏色不發黑，有線痕和硅洛現象。
2：220±40um ≤TV≤220±60um。
3：硅落：整張硅片邊緣硅晶脫落部分硅晶脫落。
三、不合格品
嚴重線痕、厚薄片：TV＞220±60um。
崩邊片：有缺陷但可以改￠103的硅片
氣孔片：硅片中間有氣孔
外形片：切方滾圓未能磨出的硅片。
倒角片（同心度）：任意兩個弧的弦長之差＞1.5mm
菱形片：（垂直度）：任意兩邊的夾角＞90°±0.8
凹痕片：硅片兩面凹痕之和＞30um
臟片：硅片表面有嚴重污漬且發黃發黑
尺寸偏差片：幾何尺寸超過二級片的范圍。
注：以上標準針對的硅片厚度為220um 。
硅片等級分類及標準（150*150）
一、 優等品（Ⅰ類片）
1、 物理、化學特性
①型號：P 晶向[100]±1°
②氧含量：≤1.0X1018at/cm3
③碳含量：≤5X1016 at/cm3
④勺子壽命：T=1.3—3.0us（在測試電壓≥20mv下裸片的數據）
⑤電阻率：0.9—1.2、1。2—3.0 、3.0-6.0Ω/cm
⑥位錯密度：≤3000個/cm
2、幾何尺寸：
①邊長：125*125±0.5mm
②對角：150*150±0.5mm
③同心度：任意兩弧長之差≤1mm
④垂直度：任意兩辦的夾角90°±0.3°
⑤厚度：200±20 um，（中心點厚度≥195um，邊緣四角厚度≥195um）
180±20 um，（中心點厚度≥175um，邊緣四角厚度≥160um）
⑥TTV: ≤30um
⑦彎曲度：≤40um
3、表明指標：
① 線痕：無可視線痕
②目視表面：無粘污、無水漬、染色、白斑、指印等
③無崩邊：無可視裂紋、邊緣光滑、目視無翹曲
二、合格品（Ⅱ類片）
2、 物理、化學特性
①型號：P 晶向[100]±1°
②氧含量：≤1.0X1018at/cm3
③碳含量：≤5X1016 at/cm3
④勺子壽命：T=1.3—3.0us（在測試電壓≥20mv下裸片的數據）
⑤電阻率：0.5-0.8Ω/cm
⑥位錯密度：≤3000個/cm
2、幾何尺寸：
①邊長：125*125±0.5mm
②對角：150*150±0.5mm
③同心度：任意兩弧長之差≤1.5mm
④垂直度：任意兩辦的夾角90°±0.3°
⑤厚度：200±20 um，（中心點厚度≥195um，邊緣四角厚度≥180um）
180±20 um，（中心點厚度≥175um，邊緣四角厚度≥160um）
⑥TTV: ≤30um
⑦彎曲度：≤40um
3、表明指標：
① 線痕：無明顯線痕、觸摸無凹凸感。
③崩邊范圍：崩邊口不是“V”型，長X 深≤1X0.5mm ，無可視裂紋、邊緣光滑、目視無翹曲
三、 等外品（Ⅲ類片）
3、 物理、化學特性
①型號：P/N 晶向[100]±3°
②氧含量：≤1.0X1018at/cm3
③碳含量：≤5X1016 at/cm3
④勺子壽命：T＜1.0us（在測試電壓≥20m下裸片的數據）
⑤電阻率：≤0.5Ω/cm
⑥位錯密度：＞3000個/cm
2、幾何尺寸：
①邊長：125*125±1.0mm
②對角：150*150±1.0mm
③同心度：任意兩弧長之差≤1.5mm
④垂直度：任意兩辦的夾角90°±0.5°
⑤厚度：＜160um
3、表明指標：
① 有明顯視線痕，觸摸有凹凸感
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