硅片的等級標準
硅片的等級標準
硅片的檢測版本1 彎曲是指有效面積內有規律的發生形變,翹曲是指有效面積內局部發生形變。
A級 | B級 | C級 | D級 | E級 | |
線痕: TV: TTV: 孿晶: 多晶: 裂紋、裂痕: 應力: 空洞: 缺角: V型缺口: 彎曲度翹曲度: 硅多晶線性尺寸長度: | 無或輕線 無 無 無 不存在多晶 無 無 無 無 無 無 6≦L≦100mm | ≦10μm,≦5條 ≦20μm ≦15 無 不存在多晶 無 無 無 無 無 ≦,50μm 6≦L≦100mm | ≦20μm,≦10條 ≦20μm ≦30 無 不存在多晶 無 無 無 無 無 ≦75μm 6≦L≦100mm | ≦30μm,≦15條 ≦20μm ≦50 無 不存在多晶 無 有 無 無 無 ≦100μm 6≦L≦100mm | ≦50μm >20μm >50 有 存在多晶 有 嚴重(可能碎裂) 有 有 有 >100μm L<6或L>100mm |
1:硅片表面光滑潔凈
2:TV:220±20um 。
3:幾何尺寸:
邊長:125±0.5mm;對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;
邊長:103±0.5mm、對角:135±0.5mm;
邊長:150±0.5mm、156±0.5mm、對角:203±0.5mm、200±0.5mm、。
同心度:任意兩個弧的弦長之差≤1mm
垂直度:任意兩邊的夾角:90°±0.3
二、合格品
一級品:垂直度:任意兩邊的夾角:90°±0.5
二級品:1:表面有少許污漬、線痕。凹痕、輕微崩邊。
2:220±30um ≤TV≤220±40um。
3:凹痕:硅片表面凹痕之和≤30um
4:崩邊范圍:崩邊口不是三角形, 崩邊口長度≤1mm ,深度≤0.5mm
5:幾何尺寸:
邊長:125±0.52mm;對角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm;
邊長:103±0.52mm、對角:135±0.52mm;
邊長:150±0.52mm、156±0.52mm、對角:203±0.52mm、200±0.52mm、。
同心度:任意兩個弧的弦長之差≤1.5mm
垂直度:任意兩邊的夾角:90°±0.8
三級品:
1:表面有油污但硅片顏色不發黑,有線痕和硅洛現象。
2:220±40um ≤TV≤220±60um。
3:硅落:整張硅片邊緣硅晶脫落部分硅晶脫落。
三、不合格品
嚴重線痕、厚薄片:TV>220±60um。
崩邊片:有缺陷但可以改¢103的硅片
氣孔片:硅片中間有氣孔
外形片:切方滾圓未能磨出的硅片。
倒角片(同心度):任意兩個弧的弦長之差>1.5mm
菱形片:(垂直度):任意兩邊的夾角>90°±0.8
凹痕片:硅片兩面凹痕之和>30um
臟片:硅片表面有嚴重污漬且發黃發黑
尺寸偏差片:幾何尺寸超過二級片的范圍。
注:以上標準針對的硅片厚度為220um 。
硅片等級分類及標準(150*150)
一、 優等品(Ⅰ類片)
1、 物理、化學特性
①型號:P 晶向[100]±1°
②氧含量:≤1.0X1018at/cm3
③碳含量:≤5X1016 at/cm3
④勺子壽命:T=1.3—3.0us(在測試電壓≥20mv下裸片的數據)
⑤電阻率:0.9—1.2、1。2—3.0 、3.0-6.0Ω/cm
⑥位錯密度:≤3000個/cm
2、幾何尺寸:
①邊長:125*125±0.5mm
②對角:150*150±0.5mm
③同心度:任意兩弧長之差≤1mm
④垂直度:任意兩辦的夾角90°±0.3°
⑤厚度:200±20 um,(中心點厚度≥195um,邊緣四角厚度≥195um)
180±20 um,(中心點厚度≥175um,邊緣四角厚度≥160um)
⑥TTV: ≤30um
⑦彎曲度:≤40um
3、表明指標:
① 線痕:無可視線痕
②目視表面:無粘污、無水漬、染色、白斑、指印等
③無崩邊:無可視裂紋、邊緣光滑、目視無翹曲
二、合格品(Ⅱ類片)
2、 物理、化學特性
①型號:P 晶向[100]±1°
②氧含量:≤1.0X1018at/cm3
③碳含量:≤5X1016 at/cm3
④勺子壽命:T=1.3—3.0us(在測試電壓≥20mv下裸片的數據)
⑤電阻率:0.5-0.8Ω/cm
⑥位錯密度:≤3000個/cm
2、幾何尺寸:
①邊長:125*125±0.5mm
②對角:150*150±0.5mm
③同心度:任意兩弧長之差≤1.5mm
④垂直度:任意兩辦的夾角90°±0.3°
⑤厚度:200±20 um,(中心點厚度≥195um,邊緣四角厚度≥180um)
180±20 um,(中心點厚度≥175um,邊緣四角厚度≥160um)
⑥TTV: ≤30um
⑦彎曲度:≤40um
3、表明指標:
① 線痕:無明顯線痕、觸摸無凹凸感。
③崩邊范圍:崩邊口不是“V”型,長X 深≤1X0.5mm ,無可視裂紋、邊緣光滑、目視無翹曲
三、 等外品(Ⅲ類片)
3、 物理、化學特性
①型號:P/N 晶向[100]±3°
②氧含量:≤1.0X1018at/cm3
③碳含量:≤5X1016 at/cm3
④勺子壽命:T<1.0us(在測試電壓≥20m下裸片的數據)
⑤電阻率:≤0.5Ω/cm
⑥位錯密度:>3000個/cm
2、幾何尺寸:
①邊長:125*125±1.0mm
②對角:150*150±1.0mm
③同心度:任意兩弧長之差≤1.5mm
④垂直度:任意兩辦的夾角90°±0.5°
⑤厚度:<160um
3、表明指標:
① 有明顯視線痕,觸摸有凹凸感
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