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    新聞資訊

    硅片的等級標準

    硅片的等級標準

    硅片的檢測
    版本1  彎曲是指有效面積內有規律的發生形變,翹曲是指有效面積內局部發生形變。
    A級B級C級D級E級
    線痕:
    TV:
    TTV:
    孿晶:
    多晶:
    裂紋、裂痕:
    應力:
    空洞:
    缺角:
    V型缺口:
    彎曲度翹曲度:
    硅多晶線性尺寸長度:
    無或輕線



    不存在多晶






    6≦L≦100mm
    ≦10μm,≦5條
    ≦20μm
    ≦15

    不存在多晶





    ≦,50μm
    6≦L≦100mm
    ≦20μm,≦10條
    ≦20μm
    ≦30

    不存在多晶





    ≦75μm
    6≦L≦100mm
    ≦30μm,≦15條
    ≦20μm
    ≦50

    不存在多晶





    ≦100μm
    6≦L≦100mm
    ≦50μm
    >20μm
    >50

    存在多晶

    嚴重(可能碎裂)



    >100μm
    L<6或L>100mm
    一、         優等品
    1:硅片表面光滑潔凈
    2:TV:220±20um 。
    3:幾何尺寸:
    邊長:125±0.5mm;對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;
    邊長:103±0.5mm、對角:135±0.5mm;
    邊長:150±0.5mm、156±0.5mm、對角:203±0.5mm、200±0.5mm、。
    同心度:任意兩個弧的弦長之差≤1mm
    垂直度:任意兩邊的夾角:90°±0.3
    二、合格品
    一級品:垂直度:任意兩邊的夾角:90°±0.5
    二級品:1:表面有少許污漬、線痕。凹痕、輕微崩邊。
    2:220±30um ≤TV≤220±40um。
    3:凹痕:硅片表面凹痕之和≤30um
    4:崩邊范圍:崩邊口不是三角形, 崩邊口長度≤1mm ,深度≤0.5mm
    5:幾何尺寸:
    邊長:125±0.52mm;對角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm;
    邊長:103±0.52mm、對角:135±0.52mm;
    邊長:150±0.52mm、156±0.52mm、對角:203±0.52mm、200±0.52mm、。
    同心度:任意兩個弧的弦長之差≤1.5mm
    垂直度:任意兩邊的夾角:90°±0.8
    三級品:
    1:表面有油污但硅片顏色不發黑,有線痕和硅洛現象。
    2:220±40um ≤TV≤220±60um。
    3:硅落:整張硅片邊緣硅晶脫落部分硅晶脫落。
    三、不合格品
    嚴重線痕、厚薄片:TV>220±60um。
    崩邊片:有缺陷但可以改¢103的硅片
    氣孔片:硅片中間有氣孔
    外形片:切方滾圓未能磨出的硅片。
    倒角片(同心度):任意兩個弧的弦長之差>1.5mm
    菱形片:(垂直度):任意兩邊的夾角>90°±0.8
    凹痕片:硅片兩面凹痕之和>30um
    臟片:硅片表面有嚴重污漬且發黃發黑
    尺寸偏差片:幾何尺寸超過二級片的范圍。
    注:以上標準針對的硅片厚度為220um 。


    硅片等級分類及標準(150*150)
    一、 優等品(Ⅰ類片)
    1、  物理、化學特性
    ①型號:P    晶向[100]±1°
    ②氧含量:≤1.0X1018at/cm3
    ③碳含量:≤5X1016 at/cm3
    ④勺子壽命:T=1.3—3.0us(在測試電壓≥20mv下裸片的數據)
    ⑤電阻率:0.9—1.2、1。2—3.0 、3.0-6.0Ω/cm
    ⑥位錯密度:≤3000個/cm
    2、幾何尺寸:
    ①邊長:125*125±0.5mm
    ②對角:150*150±0.5mm
    ③同心度:任意兩弧長之差≤1mm
    ④垂直度:任意兩辦的夾角90°±0.3°
    ⑤厚度:200±20 um,(中心點厚度≥195um,邊緣四角厚度≥195um)
    180±20 um,(中心點厚度≥175um,邊緣四角厚度≥160um)
    ⑥TTV: ≤30um
    ⑦彎曲度:≤40um
    3、表明指標:
    ① 線痕:無可視線痕
    ②目視表面:無粘污、無水漬、染色、白斑、指印等
    ③無崩邊:無可視裂紋、邊緣光滑、目視無翹曲

    二、合格品(Ⅱ類片)
    2、  物理、化學特性
    ①型號:P    晶向[100]±1°
    ②氧含量:≤1.0X1018at/cm3
    ③碳含量:≤5X1016 at/cm3
    ④勺子壽命:T=1.3—3.0us(在測試電壓≥20mv下裸片的數據)
    ⑤電阻率:0.5-0.8Ω/cm
    ⑥位錯密度:≤3000個/cm
    2、幾何尺寸:
    ①邊長:125*125±0.5mm
    ②對角:150*150±0.5mm
    ③同心度:任意兩弧長之差≤1.5mm
    ④垂直度:任意兩辦的夾角90°±0.3°
    ⑤厚度:200±20 um,(中心點厚度≥195um,邊緣四角厚度≥180um)
    180±20 um,(中心點厚度≥175um,邊緣四角厚度≥160um)
    ⑥TTV: ≤30um
    ⑦彎曲度:≤40um
    3、表明指標:
    ① 線痕:無明顯線痕、觸摸無凹凸感。
    ③崩邊范圍:崩邊口不是“V”型,長X 深≤1X0.5mm ,無可視裂紋、邊緣光滑、目視無翹曲

    三、 等外品(Ⅲ類片)
    3、  物理、化學特性
    ①型號:P/N    晶向[100]±3°
    ②氧含量:≤1.0X1018at/cm3
    ③碳含量:≤5X1016 at/cm3
    ④勺子壽命:T<1.0us(在測試電壓≥20m下裸片的數據)
    ⑤電阻率:≤0.5Ω/cm
    ⑥位錯密度:>3000個/cm
    2、幾何尺寸:
    ①邊長:125*125±1.0mm
    ②對角:150*150±1.0mm
    ③同心度:任意兩弧長之差≤1.5mm
    ④垂直度:任意兩辦的夾角90°±0.5°
    ⑤厚度:<160um
    3、表明指標:
    ① 有明顯視線痕,觸摸有凹凸感
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